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• 首次出现 📅 2026-08-10
• 最近出现 📅 2026-08-27

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📜 相关专利 (3 件)

• 用于等离子增强型薄膜沉积的炉管
  CN118497718A 🏢 盛美半导体设备(上海)股份有限公司; 盛美半导体设备韩国有限公司; 📋 盛美半导体设备(上海)股份有限公司; 盛美半导体设备韩国有限公司;
  本发明公开了一种用于等离子增强型薄膜沉积的炉管，包括：工艺管，工艺管内构造有反应室和至少一个电离室；供气管，供气管用于输送待电离工艺气体至电离室，待电离工艺气体在电离室内电离后，进入反应室内，以在基板表面沉积相应的薄膜，或者发生吸附反应实现薄膜在基板表面逐层生长；第一电极和第二电极，位于工艺管之内并位于电离室的中部位置，其中，第一电极和/或第二电极由挡板支撑，挡板的一端与对应电极相连，挡板的另一端...
• 具有提高的高温抗氧化性的锆合金包壳管及其制备方法
  CN111344807A 🏢 韩国原子力研究院 📋 韩国原子力研究院
  本发明涉及一种具有提高的高温抗氧化性的锆合金包壳管及其制备方法，上述具有提高的高温抗氧化性的锆合金包壳管的特征在于，包括：锆合金包壳管；及Cr?Al薄膜，涂在上述包壳管上，其中，通过电弧离子镀沉积上述薄膜，在上述薄膜中Al的含量为5重量百分比至20重量百分比。
• 使用旋转镜的表面等离子共振传感器
  CN101802592A 🏢 韩国生命工学研究院 📋 韩国生命工学研究院
  本发明公开了一种具有旋转镜的表面等离子共振传感器，包括(a)用于振荡作为入射光的激光的入射光源单元；(b)使所述入射光偏振的偏振器；(c)用于反射所述偏振入射光以散发成盘状光的圆柱状或平面状的旋转镜；(d)允许所述盘状光部分地穿过、且位于所述旋转镜的中心轴线的附近的遮光膜；(e)用于将穿过所述遮光膜的所述光聚焦在其上的圆柱状透镜；(f)用于接收聚焦在所述柱状透镜的所述光以产生表面等离子共振的金属薄...