本发明公开了一种锡基合金粉末低氧超声波雾化制备装置及工艺，该装置包括熔锡炉、中间盘、雾化腔室、真空泵、雾化冷却气源、熔锡炉控制系统和水冷控制装置，熔锡炉、中间盘和雾化腔室在钢架上由上至下依次设置，雾化腔室内设置有超声波雾化装置，中间盘底部周向均匀设置有2‑3个出液管，锡基合金熔液通过多流出液管以精确流量流到以超声频率振动并以一定转速旋转的雾化盘上，在氧含量低于150PPM的雾化气氛中冷却凝固成粉末。本发明通过多流出液管设计显著提高生产效率，通过惰性气体保护氛围结合水冷却夹套结构有效降低粉末含氧量，制备得到的锡基合金粉末球形度好、表面光滑、粒度分布均匀、氧含量低。