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一种铌酸锂的刻蚀方法
本申请提供了一种铌酸锂的刻蚀方法，包括：在待处理的铌酸锂层的顶部形成电子束胶层；使用电子束曝光设备对电子束胶层进行曝光；对曝光后的电子束胶层进行显影，得到掩膜层；使用电感耦合等离子体干法刻蚀设备对铌酸锂层和掩膜层进行刻蚀；通过湿法处理去除刻蚀副产品；进行去胶清洗操作。应用本申请可以对铌酸锂进行高刻蚀选择比的刻蚀。
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一种Fe-Mn-Al-C-Ni轻质钢及其激光增材制造的方法与应用
本发明属于金属增材制造技术领域，公开了一种Fe‑Mn‑Al‑C‑Ni轻质钢及其激光增材制造的方法与应用。该方法首先将粒径为15‑53μm的Fe‑Mn‑Al‑C预合金粉末与粒径为5‑20μm的Ni粉末混合，制得粒径呈双峰分布的混合粉末；然后采用激光选区熔化的方法，在惰性气体保护下，将混合粉末打印到基板上，制得打印态坯件，经短时时效后处理，急冷，制得。本发明通过粉末级配、增材制造原位合金化与短时效的协...
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一种短弧放电灯用钍钨阴极及其制备方法和应用
本发明属于电光源制造技术领域，公开了一种短弧放电灯用钍钨阴极及其制备方法和应用。本发明短弧放电灯用钍钨阴极的制备方法包括以下步骤：S1、在钍钨阴极基体表面涂覆热处理溶液，得到包括碳源涂层的钍钨阴极；S2、对所述包括碳源涂层的钍钨阴极进行分段热处理，冷却，得到所述短弧放电灯用钍钨阴极。本发明短弧放电灯用钍钨阴极的制备方法通过特定的材料与工艺设计，在微观层面协同优化了钍钨阴极的表面成分与结构，增强了钍...
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一种短弧放电灯用无钍阴极及其制备方法和应用
本发明属于电光源材料和制造技术领域，公开了一种短弧放电灯用无钍阴极及其制备方法和应用。本发明短弧放电灯用无钍阴极的制备方法包括以下步骤：S1、将原料混合并进行干燥处理；S2、在还原性气氛下对干燥后的混合粉末进行还原处理，得到钨合金粉末；S3、将所述钨合金粉末压制成型，经烧结和垂熔烧结，得到阴极坯料；S4、对所述阴极坯料进行锻造加工，得到阴极基体；S5、在所述阴极基体的中段沿其中心轴方向加工横截面为...
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一种离子束溅射高熵合金玻璃电催化电极及其制备方法和应用
本发明公开了一种离子束溅射高熵合金玻璃电催化电极及其制备方法和应用，该方法包括：首先利用微纳光刻和电沉积技术制备具有三维纳米锥阵列结构的镍微网栅，再将所获得的镍微网栅作为基底，通过离子束溅射法在其表面溅射沉积FeCoNiCrMn高熵金属玻璃即可制得该催化电极。本发明制备方法可增强高熵金属玻璃的分布均匀性和与基底的附着力，因此该一体化催化电极可直接作为工作电极；同时该制备方法可控性强、重复性高，适于...
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一种激光增材制造用系统及增材制造方法
本发明公开了一种激光增材制造用系统及增材制造方法，涉及增材制造技术领域。激光增材制造用系统包括红外激光发生器、红外光准直透镜、蓝光激光发生器、蓝光准直透镜、二向色镜和聚焦透镜，其他部分均为激光增材制造系统的常见配套系统。本发明采用多波长光束进行复合加工的思路，即采用多束低功率的脉冲式蓝光激光在焦点处进行合束处理以提高实际加工面积、激光输出的能量密度，在减少蓝光激光在光纤中的能量损失率、提升高反射材...
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一种双光束复合激光熔覆装置及熔覆方法
本申请提供了一种双光束复合激光熔覆装置及熔覆方法，通过调整所述光束复合机构，以使经准直和聚焦后的红外光束及蓝光光斑的焦斑调整到所述基板的工件平面上，并使得所述蓝光光斑在扫描方向上位于所述红外光束的前方，位于前方的所述蓝光光斑对所述基板进行预热或预熔化，位于后方的所述红外光束在此基础上在所述基板上加热形成熔池，所述熔覆粉末进入所述熔池后熔化，熔化后的粉末在光束离开后随着所述熔池冷却凝固形成熔覆层，双...
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一种激光增材制造装置
本申请提供的激光增材制造装置，激光器出射的激光光束透射二向色滤光片，测距仪出射的指示光经二向色滤光片反射，所述指示光再经所述聚焦镜入射在物体上，所述物体反射所述指示光后形成回返光，所述回返光再依次经所述聚焦镜、所述二向色滤光片返回至所述测距仪，所述测距仪捕获所述回返光并计算出工作距离，并将所述工作距离传输至所述处理器，所述处理器通过对比所述聚焦镜的焦距与所述工作距离的差异，并反馈至所述机械装置，所...
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一种多组平行束的激光熔覆光源的整型装置
本发明提供的多组平行束的激光熔覆光源的整型装置，通过调节第二透镜组的第一凹凸透镜L2和第二双凸透镜L3的位置，把第一凹凸透镜L2和第二双凸透镜L3作为一个整体进行调节，便于实现调焦功能，输出的光斑可以相应进行调节，完全满足激光熔覆产品对光斑的要求能得到各种能量分布的光斑需求的思路，满足了激光熔覆产品的需求的同时，便于操作。